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压电倾转位移台RA-3402A,通过压电陶瓷驱动,具有定位准,位置保持性好,自带锁紧,能360无限旋转等优点。在增强位置反馈模块后,可实现高精度及高分辨率的开环/闭环控制,适用于大气及真空环境下工作。
压电倾转位移台RA-3402A,通过压电陶瓷驱动,具有定位准,位置保持性好,自带锁紧,能360°旋转等优点。在增强位置反馈模块后,可实现高精度及高分辨率的开环/闭环控制,适用于大气及真空环境下工作。
1、电子显微镜原位纳米探针台
2、半导体芯片检测
3、光刻机工件台
4、微生物操纵手
5、光纤焊接
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