性能指标
 

 透射电镜指标：

● 兼容指定电镜型号及极靴；

● 可选双倾版本，双倾电学测量样品杆Y轴倾角±25°（同时受限于极靴间距）；

电学测量指标：

● 包含一个电流电压测试单元；

● 电流测量范围：１ nA-30 mA，9个量程；

● 电流分辨率：优于100 fA；

● 电压输出范围：普通模式±10 V，高压模式±150 V；

● 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

扫描探针操纵指标：

● 粗调范围：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；

● 细调范围：XY方向18 um，Z方向1.5 um；

● 细调分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

光纤指标：

● 多模光纤外径250 um，保证电镜系统真空指标；

● 可选光纤探针、平头光纤；

● 配备快速SMA接头、FC接头；

加热指标：

● 温度范围：室温到1000 ℃；

● 温度准确度优于 5% ；

● 温度稳定性：优于±0.1 ℃。