泽攸科技完全自主研制等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）及二维材料转移台。

产品介绍

多功能电感耦合等离子体增强化学气相沉积系统（CVD）是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术，主要借助微波或射频 的方法将目标气体进行电离，促进化学反应在较低的温度下进行，从而在基片上沉积出所期望的薄膜。 

目前项目团队自主研发的CVD设备可在多种衬底上（如金属、氧化物、半导体表面）直接生长以石墨烯为代表的各类新型二维 材料，用于新材料、新器件的研发。工艺简单廉价，且具有传统半导体生长工艺的兼容性。

符合CE认证标准的二维材料转移系统，可用于机械解理 的各种二维材料的转移及二维材料范德华异质结的堆叠，尤其适用于二维材料的准确转角调控。

样品可以多方向多角度的相对移动，大气环境下也可保 障二维异质结的界面干净无气泡；精巧的设计，全电动 控制，可提供真空环境，也可以轻松置于手套箱中操 作，适用于稳定性较差的二维磁性材料等研究。

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