扫描电镜的样品台倾斜角度如何调整?
日期:2024-11-04
在扫描电镜(SEM)中,调整样品台的倾斜角度可以帮助优化图像的对比度、观察表面结构的细节,以及获得立体感和更好的断层视角。样品台的倾斜角度通常可以在控制面板中手动或自动调整,以适应不同的成像需求。以下是具体的调整方法和注意事项:
1. 样品台倾斜控制
手动控制:部分 SEM 配有物理按钮或旋钮,可以直接手动调整样品台的倾斜角度。通常在显微镜的控制面板或样品舱附近。
软件控制:许多现代 SEM 通过软件控制样品台倾斜。在操作软件的用户界面中,可以找到倾斜控制选项,输入所需的角度(例如 0° 到 90°)并执行调整。
2. 常见倾斜角度应用
0°(水平):适用于一般成像和样品表面特征分析。水平放置可以减少视角失真,使得表面观测效果更好。
15° – 45°:倾斜角度的设置能增强表面结构的立体感,尤其适合于观察样品的纵深或厚度。例如,颗粒表面观察或层状样品的成像。
>45°:高角度倾斜用于观察横截面或接近垂直的结构,适合断层成像和立体观察。
3. 调整步骤
定位样品:将样品放置在样品台上,确保牢固固定。
选择初始倾斜角度:在 SEM 软件中或使用手动控制将样品台倾斜至所需初始角度(如 0°)。
实时观察调整效果:在 SEM 界面上观察实时图像,慢慢增加或减小倾斜角度,调整至所需的观察效果。
4. 倾斜角度对成像效果的影响
电子束入射角度:样品台倾斜会改变电子束入射角度,从而影响样品的电子发射效率和图像对比度。
表面电荷累积:对非导电材料,倾斜角度可能影响电荷分布,导致样品不同区域的电荷累积变化。合理的角度可以减小充电效应。
景深变化:倾斜角度增加会带来一定的景深变化,适当的倾斜可使样品的不同层面同时成像清晰。
5. 注意事项
避免样品与物镜碰撞:样品台倾斜时要特别小心与物镜或探头之间的距离,以免倾斜角度过大导致碰撞。
校准和重新聚焦:倾斜样品后,需重新对焦和校准以获得清晰的图像。
样品稳定性:确保样品牢固固定,以避免倾斜过程中样品移动或振动影响成像质量。
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作者:泽攸科技