在扫描电镜（SEM）成像中，充电效应是指电子束照射在非导电样品表面时，部分电子无法被导出，导致电荷累积，引发图像伪影、对比度失真、漂移等问题。有效控制充电效应可以通过以下几种方法：

1. 降低加速电压

原理：低加速电压（1-5 kV）会减少电子束的穿透深度，使电子在样品表面的停留时间更短，降低充电的积累。

方法：在样品材质允许的情况下，逐步降低加速电压至高质量成像。较低的电压不仅减少了充电效应，还能获得表面细节更清晰的图像。

2. 使用环境扫描电镜（ESEM）

原理：环境扫描电镜在样品腔室内保留少量气体（如水蒸气、氮气），电子束与气体分子碰撞产生的二次电子与样品电荷相互中和，减弱充电效应。

方法：在ESEM中使用低气压（通常几百帕）来提供中和电荷的环境，不仅可以观察非导电样品，还能避免金属镀层的使用。

3. 镀导电层

原理：在非导电样品表面镀一层薄的导电材料（如金、铂、碳），使电子束与样品之间的电荷得以导出。

方法：使用喷镀或蒸镀的方法在样品上形成厚度为几纳米的导电膜。选择导电层的材料时，通常根据样品的敏感性来选择低原子序数（如碳）或高原子序数（如金）的材料，以减少对样品本身特性的影响。

4. 增加电子束的扫描速度

原理：加快电子束在样品表面的扫描速度，减少每个像素点的曝光时间，能减轻充电的累积。

方法：选择较高的扫描速度或较低的帧数采集图像。虽然图像质量可能稍微降低，但充电效应会明显减弱，特别适合初步观察和定位样品。

5. 调整样品的倾斜角度

原理：适当倾斜样品可以增加部分二次电子和反射电子的逃逸几率，从而减少表面电荷的累积。

方法：在SEM样品台上将样品倾斜一定角度（如15°到45°），优化成像效果的同时，降低充电效应。但需要注意倾斜角度会影响图像比例，应调整参数以适应变化。

6. 使用低电流模式

原理：降低电子束的电流（降低束流）可减少单位时间内注入样品的电荷量，从而控制充电效应。

方法：在扫描电镜设置中选择低电流模式，调节束流至最小化充电伪影的电流水平。

7. 使用充电中和系统（如果电镜配备有该功能）

原理：一些现代SEM配备充电中和系统，通过注入低能电子或气体离子来中和样品表面的正电荷。

方法：根据仪器的操作手册，激活充电中和系统，并调整中和电子或离子注入量至适合成像的水平。

以上就是泽攸科技小编分享的如何控制扫描电镜成像中的充电效应。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。