在扫描电镜（SEM）中，样品表面带电现象会影响成像质量和图像对比度。以下是一些减少样品表面带电现象的有效方法：

1. 使用导电涂层

涂覆导电膜：在非导电材料的样品表面涂覆一层薄薄的导电膜（如金、铂或碳），以提供导电路径，减少电子束照射导致的带电现象。

选择适当厚度：确保涂层厚度适中，既能有效导电，又不会遮挡样品表面的细节。

2. 采用低加速电压

降低加速电压：使用较低的加速电压可以减少电子束能量，从而降低表面带电现象的发生。虽然这可能会影响分辨率，但对某些样品来说是可行的。

3. 增加束流强度

调节束流强度：适当增加束流强度可以提高样品表面的导电性，降低带电现象的影响。但要注意，不要过度增加以避免样品损伤。

4. 使用接地装置

接地样品：在样品台上接地样品，通过导电连接将样品与设备接地，允许电荷在样品表面自由释放，从而减少带电现象。

5. 控制环境因素

降低真空度：在高真空环境下，气体分子较少，带电现象更为明显。适度调整真空度，以便保持一定的气体压强，促进电荷的释放。

控制湿度：适当增加环境湿度，可以增加样品表面的导电性，降低带电现象。

6. 优化成像条件

选择合适的探测模式：使用背散射电子（BSE）探测模式而不是二次电子（SE）模式，后者更容易受到带电现象的影响。

调节扫描速度：提高扫描速度，可以减少电子束在样品表面的停留时间，从而降低电荷积累。

7. 使用辅助设备

电子束中和器：在SEM中安装电子束中和器，能够向样品表面发射电子，以中和积累的正电荷，减少带电现象。

离子束中和器：使用离子束对样品表面进行中和，可以有效消除表面电荷。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜中如何减少样品表面带电现象。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。