在扫描电子显微镜 (SEM) 中进行多区域的自动化成像是提高效率和准确性的重要方法，尤其是在对多个样品区域进行批量分析时。大多数现代 SEM 都提供了自动化成像的功能，通常可以通过软件实现多点选择、设置成像参数，并自动捕获图像。以下是如何在 SEM 中实现多区域自动化成像的关键步骤：

1. 选择多区域扫描

SEM 提供了多区域扫描的功能，可以通过软件界面选择多个感兴趣区域进行自动扫描。

步骤：

在 SEM 的控制软件中（如 ZEISS SmartSEM、Thermo Scientific Avizo、Hitachi FlexSEM 等），通常可以找到一个“Multi-Area”或“Multi-Region”的选项。

使用鼠标或图像上的工具框选择多个目标区域，软件会记录这些位置。

2. 设置自动化成像参数

在设置多区域自动成像前，需要根据样品和实验目标设定合适的成像参数。这些参数通常包括：

放大倍率：每个区域的放大倍率可以相同或不同。

加速电压：根据样品的材料和所需分辨率设置合适的电压。

工作距离：确保焦距和工作距离保持一致，以保证图像清晰。

扫描速度：不同区域可能需要不同的扫描速度，取决于你希望的图像质量和成像时间。

图像分辨率：选择图像的分辨率（像素大小），以确保每个区域的图像达到所需精度。

这些参数可以为所有选择的区域统一设定，或为每个区域单独设定。

3. 自动对焦和对准

为了在自动化成像过程中确保每个区域的图像质量，SEM 软件通常提供自动对焦和对准功能。

自动对焦：在每次移动到新区域时，软件会自动调整焦距。

自动对准：在进行成像前，对 SEM 的样品台进行自动对准，以确保每个区域在相应的视场内。

有些 SEM 设备甚至提供全景图像拼接功能，在成像完成后将多个区域的图像自动拼接为一张大的高分辨率图像。

4. 路径规划与多点自动成像

自动化成像软件通常会为选择的区域生成一个扫描路径，并按顺序进行成像。软件通常允许你执行以下操作：

自动路径生成：系统根据所选的点自动规划样品台的移动路径。

多点图像采集：软件根据路径依次自动移动到各个选定区域并采集图像。

图像保存：自动保存图像，并根据区域编号进行命名，避免混淆。

5. 使用自动化脚本（自动化功能）

一些 SEM 控制软件支持用户编写脚本，用于更灵活的自动化成像操作。你可以利用脚本定义多个区域的扫描顺序、图像捕获参数等。常用的脚本语言如 Python、Gatan DM scripting、或专用的 SEM 控制语言。

6. 使用 EDS 或其他分析方法的多区域自动化

在多区域自动成像中，除了获取图像外，还可以结合其他分析技术（如能谱分析 (EDS)）进行多点自动分析。对于每个区域，不仅获取图像，还可以进行元素分析、光谱采集等。

多点能谱分析：自动在多个点位进行 X 射线谱分析，采集对应区域的元素信息。

EDS mapping：对每个选定区域自动进行元素映射，得到成分分布。

7. 高通量自动化

对于一些大样品或需要高通量成像的情况，部分 SEM 配备了自动样品台（如多样品样品台），可以一次放置多个样品，软件自动识别并成像。这对材料科学研究中需要对大量样品进行扫描的任务特别有用。

以上就是泽攸科技小编分享的如何在扫描电镜中进行多区域的自动化成像。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。