在扫描电子显微镜（SEM）中，背散射电子（BSE）可以用于增强样品的对比度，尤其是对不同原子序数的材料区分更为显著。以下是如何利用背散射电子增强样品对比度的主要方法：

1. 选择背散射电子探测器

使用BSE探测器：在SEM中，背散射电子探测器专门用于收集背散射电子信号。相较于二次电子，背散射电子主要是来自较重的原子核附近，因此能够提供基于材料成分的对比度。

位置和几何配置：确保背散射电子探测器正确放置，通常靠近样品表面以最大化信号收集效率。

2. 调整电子束加速电压

高加速电压：背散射电子的生成与入射电子的能量有关。较高的加速电压能够使更多的电子产生背散射，这会增强不同材料的对比效果，尤其在样品内部成分的差异较大时。

适当控制电压：避免过高的电压，可能会导致穿透过深，减弱表面信息。

3. 利用背散射电子的Z对比度

原子序数对比（Z对比）：背散射电子的强度与样品中原子序数的高低成正比。高原子序数区域（如金属）产生更多的背散射电子，因此在图像中显示为亮区，而低原子序数区域（如轻元素材料）显示为暗区。

材料对比：利用这种Z对比度，可以区分样品中不同材料或化学成分的分布，尤其是复杂合金或多相材料。

4. 优化探测器设置

信号滤波：有些SEM系统允许对BSE探测器信号进行一定的滤波或增益调节，以增强对比度和降低噪声。

多个探测器组合：在一些SEM系统中，可以同时使用多个背散射电子探测器，针对不同角度采集信号，并结合这些信号增强图像对比度。

5. 结合二次电子与背散射电子

综合成像：在一些成像应用中，可以同时采集二次电子（SE）图像和背散射电子（BSE）图像，将两者进行对比以得到更丰富的样品表面形貌信息与成分对比度。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜中如何使用背散射电子增强样品对比度。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。