在扫描电子显微镜（SEM）中，样品表面充电效应是一个常见问题，特别是在成像非导电样品时。充电效应会导致图像失真、对比度下降，甚至可能导致样品表面损伤。以下是一些减少样品表面充电效应的方法：

1. 降低加速电压

原理：降低电子束的加速电压可以减少电子在样品表面的沉积，减少充电效应。

实施：通常将加速电压降低至 1-5 kV，甚至更低，以减轻充电效应。这也有助于提高表面细节的分辨率。

2. 使用低真空模式

原理：在低真空或环境模式下，样品周围存在一定量的气体分子。电子束撞击气体分子产生的次级电子可以中和样品表面电荷，从而减少充电效应。

实施：将 SEM 切换到低真空模式（通常在几十 Pa 到几百 Pa），适用于分析不导电样品而不需要涂覆导电层。

3. 涂覆导电层

原理：给样品表面涂覆一层导电材料，如金、铂或碳，使表面导电，避免电子在表面积累。

实施：使用喷金仪或其他涂覆设备在样品表面形成一层几纳米厚的导电膜。该方法特别适用于不导电的生物样品或聚合物材料。

4. 使用电子束减量

原理：减少电子束流电流可以降低表面电荷的积累速度，从而减轻充电效应。

实施：在 SEM 设置中调整电子束流电流，使用较低的束流电流进行成像。

5. 倾斜样品

原理：通过倾斜样品，使电子束不直接垂直入射样品表面，可以减少电子的沉积，降低充电效应。

实施：根据样品的形状和特性，适当调整样品台的倾斜角度，通常在 30-45 度范围内。

6. 增加样品的导电连接

原理：通过导电粘合剂或导电胶将样品与样品台直接连接，确保电荷能够有效传导到接地端。

实施：在安装样品时，使用导电胶带、银浆或其他导电材料连接样品和样品台，确保良好的导电性。

7. 使用慢扫描或平均模式

原理：慢扫描或图像平均技术可以减少因充电效应引起的图像失真。

实施：通过延长扫描时间或使用多次扫描的图像平均功能来减小噪声和伪影，获得更清晰的图像。

8. 选择合适的探测器

原理：使用背散射电子探测器（BSE）而非二次电子探测器（SE）可以减少充电效应，因为背散射电子来自样品内部，受表面充电的影响较小。

实施：切换到背散射电子探测器模式，尤其在成分对比成像中，这种探测器对表面充电效应的敏感度较低。

9. 环境控制

原理：通过控制样品室的湿度或在样品附近加入少量水蒸气，可以帮助中和表面电荷。

实施：在低真空或环境模式下，调节样品室的环境参数，使之有利于减少充电效应。

10. 优化样品准备

原理：通过精细的样品准备技术，可以减少表面电荷的积累。

实施：保持样品表面的清洁和光滑，避免粗糙表面，因为粗糙表面容易导致电荷积累。

以上就是泽攸科技小编分享的如何在扫描电镜中减少样品表面充电效应。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。