在扫描电子显微镜（SEM）中，伪影（artifacts）是图像中由于非样品原因而出现的假象或失真，这些伪影可能干扰对样品的正确分析和解释。处理和减少SEM图像中的伪影需要对伪影的来源进行识别，并采取相应的措施来避免或修正。以下是常见伪影的类型以及相应的处理方法：

1. 充电效应伪影

特征：充电效应通常出现在非导电样品中，表现为图像中的亮点、条纹或整体图像的漂移。

处理方法：涂覆导电层：对非导电样品表面涂覆一层薄的导电材料（如金、碳），以减少充电效应。

降低加速电压：使用低加速电压（如1-5 kV）可以减少样品表面电荷积累。

使用环境扫描电镜（ESEM）：ESEM可以通过控制样品室的气压和湿度，利用气体分子中和电荷，从而减少充电效应。

调整束流强度：降低电子束的束流强度或缩短扫描时间，以减少电荷积累。

2. 磁场伪影

特征：由于样品或仪器周围存在磁场，图像中可能出现失真、弯曲或拉伸的现象。

处理方法：远离磁场源：将SEM仪器和样品远离任何可能产生磁场的设备，如电动机、变压器等。

使用去磁线圈：如果样品具有弱磁性，可以使用去磁线圈对样品进行处理。

重新对准SEM：在有磁场干扰时，定期重新对准SEM的电子光学系统。

3. 振动伪影

特征：振动伪影表现为图像的模糊、重复条纹或拖影，通常由环境振动引起。

处理方法：隔振平台：在SEM设备下方安装隔振平台，以减少环境振动的影响。

降低扫描速度：降低扫描速度可以减少振动伪影的影响，但可能需要增加扫描次数以提高信噪比。

检查设备安装：确保SEM安装在稳定的地基上，远离可能产生振动的设备和活动。

4. 样品损伤伪影

特征：电子束在样品表面引起损伤，导致图像中出现不自然的亮斑、变色或结构损坏。

处理方法：降低束流强度：减少电子束的束流强度，以减小对样品的损伤。

降低加速电压：使用低加速电压，减少电子束对样品的入射能量，从而降低损伤。

使用冷冻样品台：对于热敏感样品，可以使用冷冻样品台来减缓样品在电子束下的损伤。

5. 电子束辐照伪影

特征：由于电子束的长期照射，样品可能发生累积电荷或局部热效应，导致图像中出现形变或非均匀对比。

处理方法：束流分布均匀化：优化扫描路径和束流分布，使得电子束在样品表面均匀分布，避免局部过热或过度辐照。

使用低电流扫描：通过降低束流电流或缩短曝光时间，减少电子束对样品的辐照效应。

6. 真空伪影

特征：真空系统的泄漏或波动可能导致图像中出现不规则条纹、漂移或波动。

处理方法：检查真空系统：定期检查和维护真空系统，确保无泄漏或不稳定的气流。

稳定真空压力：在采集图像前，确保样品室内的真空压力稳定。

7. 样品污染伪影

特征：样品表面污染物可能导致图像中的不规则斑点或不均匀的对比度。

处理方法：清洁样品：在成像前，对样品进行适当的清洁处理，去除表面的污染物。

使用离子束清洁：在高真空条件下，使用离子束对样品表面进行清洁处理。

防止污染：在成像过程中，尽量避免样品暴露在有机物或其他污染物中。

8. 条纹伪影（Moire Pattern）

特征：当样品的周期性结构与SEM的扫描周期重叠时，会在图像中出现干扰条纹。

处理方法：调整扫描参数：改变扫描方向或调整扫描速度，以避免条纹的产生。

改变样品角度：通过改变样品的倾角，减少周期性结构与扫描周期的重叠。

9. 图像漂移

特征：电子束漂移或样品台移动引起的图像模糊或偏移。

处理方法：稳定电子束：定期校准SEM的电子光学系统，确保电子束稳定。

优化样品台控制：确保样品台的定位和移动精度，减少不必要的移动。

10. 后期图像处理

数字滤波：使用图像处理软件中的滤波工具（如高通滤波、噪声去除等）来消除或减弱伪影。

图像校正：使用软件工具进行亮度、对比度调整，或进行几何校正，减少伪影的视觉影响。

以上就是泽攸科技小编分享的如何在扫描电镜中处理图像的伪影。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。