在扫描电子显微镜（SEM）成像中，图像伪影（Artifacts）是一些不真实的图像特征，通常由仪器、样品准备或操作方法引起。这些伪影可能干扰图像的准确性和可解释性，因此识别和消除它们非常重要。以下是一些常见的图像伪影及其识别和消除方法：

1. 充电效应（Charging Artifacts）

识别：表现为图像中出现不规则的明暗区域、条纹或图像漂移，特别是在非导电样品或薄膜样品上。

消除方法：涂覆导电层：在样品表面涂覆一层薄的金、铂或碳导电层，以消除静电积累。

降低束电压：减少电子束能量以降低充电效应。

使用环境扫描电子显微镜（ESEM）：ESEM允许在低真空或湿环境中操作，减少充电效应。

2. 图像噪声

识别：表现为图像中的随机斑点或颗粒，可能由电子束的不稳定性、检测器噪声或信号不足引起。

消除方法：增加扫描次数：通过增加扫描次数（如多帧平均），可以减少随机噪声。

提高束流强度：增加束流强度以获得更强的信号。

优化检测器设置：调整检测器的增益和偏置电压，优化信号采集。

3. 漂移伪影（Drift Artifacts）

识别：图像中的线条或细节出现模糊或拉伸，通常由于样品、电子束或平台的移动引起。

消除方法：稳定样品：确保样品固定牢固，减少机械振动和热膨胀。

调整扫描速度：适当减慢扫描速度，以减少漂移对图像的影响。

稳定环境：保持环境温度稳定，减少热膨胀引起的漂移。

4. 条纹伪影（Striations or Moiré Patterns）

识别：图像中出现规则的条纹或波纹，通常由于样品晶格结构、检测器干扰或电子束衍射引起。

消除方法：改变扫描角度：调整样品或电子束的倾斜角度，改变衍射条件。

调整分辨率：改变扫描分辨率或采样间距，以避免与样品晶格间距的干涉。

后处理消除：在图像后处理中使用滤波技术消除条纹伪影。

5. 样品污染（Contamination Artifacts）

识别：在图像中出现不属于样品的杂质、颗粒或污渍，通常由于样品制备不当或在真空环境中分解的有机物沉积引起。

消除方法：提高样品制备质量：确保样品制备过程清洁，使用纯净的试剂和工具。

减少电子束辐照时间：减少电子束在样品上聚焦的时间，以避免热效应导致的分解和沉积。

定期清洁真空腔体：保持SEM真空腔体的清洁，定期清洁或更换污染物可能沉积的部件。

6. 光学伪影（Lens Artifacts）

识别：图像中的畸变、放大不均匀或像差，通常由于透镜的对准不当、污染或电子束的聚焦不良引起。

消除方法：重新对准透镜系统：通过校准透镜和电子光学系统，确保电子束聚焦准确。

清洁透镜：定期清洁透镜，以避免由于污染物沉积引起的光学伪影。

优化聚焦：使用适当的聚焦和消像差技术，确保图像的锐利和清晰。

7. 断层伪影（Fracture Artifacts）

识别：在样品断裂面或剖面图像中出现不规则的纹理或缺口，通常由于样品准备过程中产生的机械应力引起。

消除方法：小心制备样品：避免在样品切割或处理过程中引入过多的机械应力。

优化断层处理技术：使用冷冻断裂或低温处理技术，减少样品断裂时的应力集中。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电子显微镜的图像伪影如何识别和消除。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。