背散射电子成像（BSE）是扫描电镜（SEM）中的一种重要成像技术，主要用于提供样品成分对比和晶体取向信息。以下是进行背散射电子成像的详细操作方法：

1. 准备工作

样品准备

清洁样品：确保样品表面清洁。

固定样品：将样品牢固地固定在样品台上，避免在操作过程中移动。

导电处理：对于非导电样品，进行导电涂层处理（如金、铂涂层）以减少充电效应。

2. 设备设置

启动 SEM

启动设备：按照设备操作手册启动 SEM，并进行必要的系统检查。

真空度：确保样品腔和枪腔的真空度达到要求。

选择加速电压

选择合适的加速电压：一般选择15-30kV之间，具体电压根据样品和分析需求调整。高电压通常提供更高的信号强度和更好的成分对比。

3. 选择背散射电子探测器

安装 BSE 探测器

选择探测器：确保已安装适用于 BSE 成像的探测器，一般安装在 SEM 样品腔的上方或侧方。

连接探测器：确保探测器与 SEM 控制系统正确连接，并开启探测器。

4. 电子束调节

聚光镜调整

粗调聚光镜：使用粗调聚光镜将电子束初步聚焦到样品表面。

精调聚光镜：进一步调整聚光镜，使电子束更加集中，提高成像质量。

5. 扫描参数设置

设置工作距离

调整工作距离：根据探测器的位置和成像要求调整工作距离。一般情况下，较短的工作距离有助于提高图像分辨率。

扫描速度

选择扫描速度：根据样品和成像要求选择合适的扫描速度。慢速扫描通常提供更高的分辨率和信噪比。

6. 电子束聚焦和消像散调整

初步聚焦

低倍率聚焦：选择较低的放大倍率（如100x-500x），初步聚焦电子束。

粗调焦距：使用粗调焦距旋钮，将样品表面初步成像。

高倍率聚焦

高倍率细调：逐步提高放大倍率（如1000x-5000x），进行细调聚焦。

细调焦距：使用细调焦距旋钮，将样品细节清晰呈现。

调整消像散

消像散器：使用消像散器（Stigmator），调整电子束的形状，减少像散效应。

横向消像散：调节横向消像散控制，使水平线条清晰。

纵向消像散：调节纵向消像散控制，使垂直线条清晰。

7. 背散射电子成像

启用 BSE 成像模式

选择成像模式：在 SEM 控制软件中选择背散射电子（BSE）成像模式。

设置探测器参数：根据具体探测器的要求，调整探测器的工作电压、增益等参数。

调整对比度和亮度

对比度调整：在图像较暗时，提高对比度，使细节更加明显；在图像较亮时，降低对比度，避免过曝。

亮度调整：在图像较暗时，增加亮度，使整体图像更加清晰；在图像较亮时，减少亮度，防止图像饱和。

图像优化

消除噪声：使用图像处理软件或 SEM 的内置功能，去除图像噪声，提升图像质量。

提高分辨率：在可能的情况下，进一步调整加速电压、工作距离和扫描速度，以提高图像的分辨率。

8. 数据采集与分析

捕捉图像

保存图像：捕捉并保存高分辨率的 BSE 图像，用于后续分析。

标记感兴趣区域：在捕捉图像时，标记感兴趣的区域，以便进一步分析和比较。

分析图像

成分对比：利用 BSE 图像的成分对比信息，分析样品中不同区域的元素分布。

晶体取向：利用 BSE 图像的晶体取向信息，分析样品中晶体结构的变化。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜背散射电子成像的操作方法的介绍。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。