扫描电镜探针电流的影响因素
日期:2024-07-05
在扫描电子显微镜(SEM)中,探针电流(也称为束流电流或探针电流)是指电子束从电子枪发射到样品表面上的电流强度。探针电流的大小直接影响成像的分辨率、信噪比和样品的损伤程度。因此,选择适当的探针电流对获得高质量的图像至关重要。
探针电流的影响因素
电子枪类型:
钨灯丝(W):探针电流较大,但分辨率较低,寿命较短。
六硼化镧(LaB6):比钨灯丝有更高的亮度和寿命,分辨率较高。
场发射枪(FEG):提供亮度和分辨率,但价格较高,操作和维护复杂。
加速电压:
较高的加速电压通常会增加探针电流,但可能会导致样品损伤。
较低的加速电压适合观察表面结构,但探针电流较小,信噪比较低。
孔径尺寸:
较大的孔径允许更多的电子通过,增加探针电流,但会降低分辨率。
较小的孔径提高分辨率,但减少探针电流。
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作者:泽攸科技
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