在使用台扫电镜（SEM）分析样品时，工作距离（working distance, WD）对观察结果有显著影响。工作距离是指从电子枪到样品表面的距离。以下是工作距离对SEM观察结果的主要影响：

1. 图像分辨率

短工作距离：通常提供更高的分辨率。电子束在较短的路径上保持更集中的束斑（spot size），减少了散射和能量损失，使得图像更加清晰和细致。

长工作距离：分辨率较低。电子束在到达样品表面之前会有更多的扩散和散射，导致束斑变大，图像分辨率下降。

2. 景深（Depth of Field）

短工作距离：景深较浅。这意味着样品表面的高低起伏会导致图像的某些部分模糊，特别是在高放大倍数下。

长工作距离：景深较大。可以同时对样品的不同高度部分进行清晰成像，适用于观察具有明显高度差异的样品。

3. 图像对比度

短工作距离：对比度较高。由于束斑较小，电子束的集中度高，信号强度较强，从而增强图像的对比度。

长工作距离：对比度较低。电子束扩散导致信号减弱，对比度降低。

4. 视场大小（Field of View）

短工作距离：视场较小。由于电子束更加集中，扫描的区域也相对较小。

长工作距离：视场较大。电子束扩散使得扫描覆盖的区域较大，适用于观察大面积的样品表面。

5. 信噪比（Signal-to-Noise Ratio）

短工作距离：信噪比较高。电子束路径较短，受干扰较少，信号强度相对较高。

长工作距离：信噪比较低。电子束在长距离上传播时受到更多的干扰，信号强度减弱，噪声相对增加。

6. 样品损伤

短工作距离：可能导致样品表面更容易受电子束损伤，特别是对于非导电或敏感样品。

长工作距离：样品表面受电子束损伤的风险较小，因为电子束强度分布较均匀。

7. 操作和调节

短工作距离：需要更准确的对焦和定位，操作难度较高，特别是在高放大倍数下。

长工作距离：对焦和定位相对容易，适合初学者或进行快速扫描。

实际操作建议

高分辨率成像：选择短工作距离，特别是需要观察样品的细微结构时。

大视场观察：选择长工作距离，适用于初步扫描和大面积样品的快速观察。

景深需求：对于高度不均匀的样品，选择长工作距离以确保不同高度部分的清晰成像。

样品保护：对于容易受损的样品，可以适当增加工作距离，减少电子束强度集中带来的损伤。

以上就是泽攸科技小编分享的台扫电镜分析样品时工作距离对观察结果的影响。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。