扫描电镜（SEM）工作时镜筒内的真空度是确保电子束正常传输和样品表面电子散射检测的重要因素。通常，SEM的镜筒内需要维持高真空，以避免电子束与空气分子碰撞，导致电子束散射和能量损失。

一般真空度要求

高真空SEM

在高真空SEM中，镜筒内的真空度通常在以下范围：

10^-5 至 10^-7 托 (Torr)

这种高真空度可以减少电子束在空气中的散射，从而提高图像分辨率和信噪比。这种环境适用于大多数常见的SEM应用，如材料科学、纳米技术和生物样品的高分辨率成像。

低真空SEM（环境扫描电镜，ESEM）

低真空SEM或环境扫描电镜（ESEM）允许在较低的真空度下操作，通常在以下范围：

1 至 10^-3 托 (Torr)

低真空模式适用于非导电样品和含水样品的观察，因为可以在样品表面保留一层水蒸气，避免样品表面电荷积累和损伤。ESEM可以在环境条件下观察湿润、油脂和其他非导电样品。

真空度的重要性

电子束的稳定性：高真空度可以减少空气分子对电子束的散射，确保电子束稳定和集中，从而获得高质量的图像。

样品保护：高真空环境可以防止样品表面被氧化或污染，尤其是对于敏感材料而言。

设备保护：维持高真空可以减少污染物在镜筒内的沉积，延长设备的使用寿命和性能稳定性。

真空系统的组成

SEM的真空系统通常由以下部分组成：

粗抽泵：如旋片泵或干泵，用于初步抽空，使真空度达到10^-2 至 10^-3 托。

高真空泵：如涡轮分子泵、离子泵或扩散泵，用于进一步提高真空度，使其达到10^-5 托或更高。

真空计：监测和显示镜筒内的真空度，确保系统维持在合适的真空范围。

维护真空系统

为了保持SEM的正常运行和高质量图像，需定期维护真空系统：

检查和更换泵油（对于旋片泵和扩散泵）。

定期校准和清洁真空计。

检查和更换密封圈，确保系统的密封性。

定期检漏，检测和修复可能的泄漏点。

总结

在SEM操作中，镜筒内的真空度是确保电子束稳定性和图像质量的关键因素。高真空度通常在10^-5 至 10^-7 托，而低真空或环境扫描电镜则在1 至 10^-3 托。通过维护和管理真空系统，可以确保SEM的正常运行和高质量的成像结果。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜工作时镜筒内的一般真空度要求。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。