在扫描电子显微镜（SEM）中，调节焦距是获取清晰图像的关键步骤。焦距调节主要是通过控制工作距离（Working Distance, WD）和物镜焦距（Objective Focus）来实现的。以下是详细步骤：

1. 准备工作

固定样品：确保样品稳固地固定在样品台上，避免在成像过程中移动。

粗略调整高度：手动调节样品台高度，使样品表面大致位于物镜的工作距离范围内。

2. 启动SEM

启动SEM：开启SEM并等待其稳定。

选择加速电压：选择适当的加速电压（如5-20 kV），视样品特性而定。

3. 初步成像

低倍率成像：选择低倍率（如几十到几百倍），以便在较大视野范围内观察和定位样品。

调节亮度和对比度：初步调整图像的亮度和对比度，使得样品的主要特征清晰可见。

4. 调节工作距离（WD）

观察图像清晰度：通过调节工作距离（样品台的高度），使得样品表面逐渐变得清晰。

工作距离显示：SEM软件界面通常会显示当前的工作距离（WD），根据需要调整。

5. 调节物镜焦距（Focus）

精细调焦：使用SEM控制面板或软件界面的“焦距”旋钮，精细调整物镜焦距。

观察图像细节，找到合适的焦点，使图像更清晰。

自动调焦：一些现代SEM设备配备自动调焦功能，可自动调整到适合焦距。

6. 高倍率成像

逐步放大：在低倍率下调好焦距后，逐步增加倍率，每次放大倍率后再次调节焦距。

精细调焦：每次放大后，使用物镜焦距控制进行精细调焦，确保图像清晰。

7. 使用斜率优化器（Stigmator）

修正像差：在高倍率下，如果图像出现像差（失真或模糊），使用SEM中的斜率优化器（Stigmator）进行校正。

调整Stigmator：通过调整X和Y方向的斜率优化器，使得图像达到更好的清晰度。

8. 再次调整亮度和对比度

优化图像质量：根据需要再次调整亮度和对比度，确保图像细节和对比度更好。

9. 调整和保存图像

微调焦距和工作距离：在获得清晰图像后，进行微调，确保图像质量。

捕获和保存图像：使用SEM软件捕获并保存图像。

小技巧

样品高度调整：在样品装载时，尽量将样品高度调整至工作距离的中间值，减少后续调节幅度。

避免样品污染：样品表面应尽量清洁，避免污染影响成像效果。

稳定性：确保样品台和环境稳定，避免振动和电磁干扰。

通过以上步骤，可以在SEM中准确调节焦距，获得高质量的图像。这些操作需要一定的经验和熟练度，建议在操作前详细阅读设备的操作手册，并在熟练掌握后进行高精度成像。

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