扫描电镜（SEM）主要检测的是与样品表面交互作用后产生的不同信号。这些信号包括：

次级电子（SE）信号：这是SEM中常用的信号之一。当高能电子束照射样品表面时，部分电子会被激发出来，形成次级电子信号。这些电子的能量通常较低，对样品表面的拓扑结构和表面特性具有很高的表面灵敏度。

反射电子（BSE）信号：反射电子是在与样品原子核的相互作用后被反射回来的电子。这些电子的能量通常较高，提供了有关样品成分和结构的信息。BSE信号对于获取有关样品的化学成分和晶体结构的信息非常有用。

X射线信号：当高能电子束与样品表面相互作用时，会激发出X射线。这些X射线的能量与样品中的原子核的成分有关。通过分析这些X射线的能谱，可以确定样品的化学成分。

荧光信号：当样品表面受到电子束照射时，可能会产生荧光，这些荧光信号可以提供有关样品成分和表面特性的信息。

这些信号的检测和分析可以为对样品的成分、结构和表面特性提供详细的信息，使得SEM成为了材料科学、生物学、纳米技术等领域中广泛应用的强大工具。

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