扫描电镜（SEM）对焦是调整扫描电镜系统以获得清晰图像的过程。通常，SEM系统具有自动对焦功能，但也可以手动对焦。以下是手动对焦的一般步骤：

选择合适的工作距离：首先，选择合适的工作距离，这取决于所观察样品的性质和表面特征。通常情况下，距离较近可以提供更高的放大倍数，但会降低深度焦点范围。

调整工作距离：使用控制系统中的调焦手轮或按钮，逐步调整工作距离，直到观察到样品表面的清晰图像。在调焦过程中，图像会逐渐变得清晰，一直调整直到高的清晰度。

调整焦平面：有时候，样品的不同部分可能位于不同的焦平面上。如果需要观察样品的不同区域，可能需要微调焦平面，以确保整个样品表面都处于清晰的焦点范围内。

检查调整：调焦完成后，建议检查调整结果，确保图像清晰且所有感兴趣的特征都能清晰可见。可以通过改变工作距离和焦平面，进一步优化图像质量。

值得注意的是，每次更换样品或调整扫描电镜参数时，都可能需要重新对焦。对于自动对焦功能，大多数SEM系统会根据样品的特征自动进行对焦，但在某些情况下，手动对焦可能更合适或更准确。

在进行对焦时，需要注意避免使用过高的放大倍数或调焦过快，以免损坏样品或SEM镜头。同时，根据样品的特性和所需的分辨率，调整合适的对焦参数也是很重要的。

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