扫描电子显微镜（SEM）是一种常用的高分辨率成像技术，其成像参数包括以下几个方面：

加速电压： 加速电压是用于加速电子束的电压，通常以千伏（kV）为单位。更高的加速电压可以产生更高能量的电子束，从而获得更高的分辨率和深度。

放大倍数： 放大倍数表示样品图像在显微镜中被放大的倍数。放大倍数通常以倍数或百分比表示，可以根据需要调整以获得所需的图像细节和分辨率。

工作距离： 工作距离是指电子枪射出的电子束到样品表面之间的距离。较长的工作距离通常用于观察凸起的样品表面，而较短的工作距离则用于观察凹陷的样品表面。

探针电流： 探针电流是指射入样品的电子束的电流大小。探针电流的大小会影响到成像的信噪比和样品的表面损伤程度，通常需要根据样品的性质和成像要求进行调整。

扫描速度： 扫描速度是指电子束在样品表面扫描的速度，通常以像素/秒为单位。更快的扫描速度可以加快成像速度，但可能会降低图像的分辨率。

检测器类型： SEM 可以配备不同类型的检测器，如二次电子检测器（SE detector）、反射电子检测器（BSE detector）、能量散射谱仪（EDS detector）等。不同类型的检测器可用于获取不同类型的信号和信息，用于分析样品的表面形貌、组成和结构等特征。

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