扫描电镜中的样品表面充电效应是一个常见问题，但可以通过以下方法来减轻或避免：

导电涂层： 在样品表面涂覆一层薄而均匀的导电涂层，如金属（例如金、铂）或碳。这有助于提供一个导电路径，减轻表面充电效应。

样品炭层： 对于非导电样品，可以使用碳薄层来涂覆样品表面。这有助于提高样品的导电性，从而减轻充电效应。

金属导电涂层： 对于特定的样品，可以考虑在样品表面蒸镀一层薄的金属导电膜。这可以改善电子导电性，减少表面充电。

低电子能量： 使用较低的电子能量进行扫描。较低的电子能量可以减少电子束与样品相互作用，从而减轻表面充电效应。

真空环境： 在扫描电镜操作期间维持适当的真空环境，以减少气体分子对电子束和样品的影响，有助于减轻表面充电效应。

中性气体辅助： 有些扫描电镜设备具有中性气体辅助功能，通过注入中性气体（如氮气）来中和表面充电效应。

低电子通量： 使用较低的电子通量，即每单位时间内通过样品的电子数量。这有助于减轻充电效应。

ZEM20台式扫描电镜

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