扫描电镜中的电子束是通过电子枪生成并经过一系列的控制和聚焦步骤来实现高分辨率的成像。以下是扫描电镜中电子束的生成和控制的基本原理：

电子枪：

扫描电镜中的电子束首先由电子枪产生。电子枪通常包括一个热阴极（通常是钨丝）和一个阳极。当热阴极受加热时，会发射电子，形成电子云。

电子束的加速：

电子云被加速器加速，通常通过电场或电压差。这个过程将电子云加速到相对较高的能量，以形成高速的电子束。

电子束的调制和聚焦：

通过使用一系列的电场透镜和磁场透镜，电子束经过调制和聚焦，以形成细小而集中的电子束。这有助于提高电子束的分辨率和聚焦能力。

扫描线圈：

电子束通过被称为扫描线圈的电磁设备，该线圈可在样品表面进行快速扫描。通过调整扫描线圈的电流，可以控制电子束在样品表面的位置。

样品交互作用：

当高速电子束与样品表面相互作用时，产生的信号（如二次电子、反向散射电子等）将被收集并用于生成图像。样品在电子束的激发下会发射出不同的信号，这些信号用于形成图像。

检测和图像生成：

通过检测样品表面反馈的信号，扫描电镜可以生成高分辨率的表面拓扑图像。检测器测量样品表面的信号，并将这些信号转换为图像，反映样品的微观形貌。

ZEM20台式扫描电镜

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