扫描电镜（SEM）的聚焦系统主要通过调整电子透镜的电场来实现。这个系统包括一组电磁透镜，用于聚焦电子束，使其能够在样品表面形成清晰的图像。

聚焦系统的工作原理如下：

电子源： SEM中通常使用热阴极或场发射电子源产生电子。这些电子被加速并形成初级电子束。

透镜系统： 初级电子束经过一系列的电磁透镜，其中包括减焦透镜和聚焦透镜。这些透镜通过调整电场的强度和方向来聚焦电子束。

样品： 聚焦后的电子束照射到样品表面，与样品发生相互作用。

二次电子发射： 样品表面的相互作用导致二次电子的发射。这些二次电子被收集用于形成图像。

样品与聚焦系统之间的距离影响聚焦的效果，主要体现在焦距上。焦距是指从透镜到样品表面的距离。在SEM中，通常可以通过调整样品的高度来改变焦距。这对于获得清晰的图像是至关重要的。

在一般情况下，当样品与透镜系统之间的距离适当时，可以获得高质量的聚焦效果。如果样品太靠近透镜系统，可能导致透镜系统无法正确聚焦电子束，从而影响图像的清晰度。反之，如果样品太远离透镜系统，电子束在到达样品之前可能会发散，同样影响图像的质量。

因此，通过调整样品与透镜系统的距离，可以优化聚焦系统的性能，以获得高分辨率和清晰的扫描电镜图像。

ZEM20台式扫描电镜

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