要调整扫描电镜系统以改变焦平面和深度，通常需要关注以下几个因素：

对焦调整： 扫描电镜系统通常具有对焦机制，可用于调整焦点。您可以使用对焦控制来更改焦平面，从而使不同深度的样品层次清晰可见。通常，这可以通过手动或自动对焦完成。

工作距离： 工作距离是样品表面与电子透镜之间的距离。它会影响焦平面和深度。更改工作距离可能需要调整样品的位置或透镜位置。请参考扫描电镜的用户手册以了解如何进行此调整。

透镜和孔径设置： 不同的透镜和孔径设置会对焦平面和深度产生影响。透镜的焦距和孔径大小会影响深度和清晰度。根据您的需要，选择适当的透镜和孔径设置。

缩放： 缩放级别也会影响焦平面和深度。更高的缩放级别通常会减小深度，而较低的缩放级别会增加深度。调整缩放级别以查看所需深度内的样品细节。

电子束能量： 调整电子束能量可以改变电子的透射深度。不同的电子束能量可以用于查看样品的不同深度。

倾斜观察： 如果需要查看样品的侧面或斜面，您可以使用倾斜观察模式。这允许您查看深度和焦平面的变化。

调整这些因素时，通常需要小心而谨慎地进行，以确保获得所需的焦平面和深度。

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