扫描电镜中的电子束辐射损伤是指样品在电子束照射下受到损害的现象。这种损伤通常表现为样品表面的形貌变化、晶体结构损坏、化学成分改变等。为了减轻扫描电镜中的电子束辐射损伤，可以采取以下措施：

使用低电子束能量： 降低电子束的能量可以减少样品的辐射损伤。选择适当的加速电压和电子束能量，以减小对样品的伤害。

使用低电子束强度： 降低电子束的强度可以减少辐射损伤。通过调整电子束的亮度和电流，以使其适应样品的需要，同时减小样品的损伤。

使用低温： 将扫描电镜中的样品置于低温环境下可以减轻电子束辐射损伤。低温可以降低样品的热能，减少电子束对样品的热损伤。

减少曝光时间： 将电子束的曝光时间尽可能缩短，以减少电子束对样品的辐射损伤。只在必要时才进行长时间曝光。

样品预处理： 对样品进行适当的预处理，如涂覆金属或碳薄膜、使用抗辐射涂料等，可以减轻电子束辐射损伤。

使用低真空或环境模式： 在某些情况下，将扫描电镜设置为低真空或环境模式可以减轻辐射损伤，因为这些模式可以减少电子束与气体相互作用。

注意电子束位置： 避免将电子束集中在样品的同一区域，以分散辐射损伤。

定期校准和维护： 确保扫描电镜的性能处于很好的状态，进行定期的校准和维护，以减少电子束辐射损伤的风险。

ZEM20台式扫描电镜

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