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扫描电镜的分辨率有多高?

日期:2023-09-14

扫描电镜的分辨率非常高,通常能够实现亚纳米级别的分辨率。分辨率是指显微镜能够分辨并显示两个邻近对象或特征之间的距离。

扫描电镜的分辨率受到多种因素的影响,包括电子束的能量、样品的性质以及仪器的设计和性能。通常,扫描电镜的分辨率在0.5纳米(0.5 nm)到5纳米(5 nm)之间,具体数值取决于特定仪器的规格。一些扫描电镜甚至可以达到更高的分辨率。

以下是影响SEM分辨率的主要因素:

电子束能量: 较高能量的电子束通常具有更短的波长,因此具有更高的分辨率。然而,电子束能量也会影响样品的表面相互作用和成像深度。

透镜和检测器设计: SEM使用一系列电子透镜和检测器来聚焦和收集电子信号。仪器的设计和性能会影响分辨率。

样品准备: 样品的表面准备和涂覆可能会影响SEM图像的质量和分辨率。

工作模式: SEM可以在不同的成像模式下操作,包括二次电子成像(SEI)和反射电子成像(BEI)。不同模式下的分辨率可能有所不同。

ZEM18台式扫描电镜

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作者:泽攸科技