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如何预防扫描电镜中的样品表面电荷积累?

u7cc彩票日期:2023-09-07

在扫描电镜(SEM)中,样品表面电荷积累是一个常见的问题,它可能导致图像质量下降,特别是在非导电或绝缘性材料上。为了预防或减轻样品表面电荷积累,可以采取以下措施:

样品导电性处理: 对于非导电或绝缘性材料,可以通过将其表面镀上一薄层导电性材料,如金属(金、铂、银)或碳,来提高导电性。这有助于电子束的导电,并减少电荷积累。

使用导电样品支撑: 在SEM分析过程中,您可以将样品放在导电支撑物上,如导电碳带或导电碳双面胶。这些支撑物可以帮助样品导电,同时也有助于稳定样品的位置。

减小束流强度: 降低电子束的强度可以减少样品表面电荷的积累。在SEM仪器上调整束流强度,以确保不会在样品表面产生过多的电荷。

使用低加速电压: 降低电子束的加速电压可以减小电子束的穿透深度,从而降低电荷积累的风险。这可能会导致图像分辨率降低,所以需要权衡。

电子束扫描模式: 选择适当的电子束扫描模式,如低电流、线性模式,以减少电荷积累的速度。

使用防电荷涂层: 一些SEM仪器提供了防电荷涂层的选项,这些涂层可以降低电荷积累的风险。这些涂层在样品上形成一个导电性薄层。

样品旋转: 定期旋转样品,以改变电荷积累的位置。这可以帮助均匀分散电荷。

避免长时间曝晒: 尽量减少样品长时间暴露在电子束下。在不需要时,关闭电子束。

在真空下存储样品: 如果可能,将样品存储在SEM样品室的真空环境中,以减少吸附在样品表面的气体分子。

样品前处理: 在分析之前,进行样品的适当前处理,如金属镀层、碳镀层或样品表面的清洁,以减少电荷积累。

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作者:泽攸科技