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扫描电镜中的电子束如何对样品产生影响

日期:2023-08-01

在扫描电镜(SEM)中,电子束对样品产生多方面的影响。当电子束与样品相互作用时,产生的相应效应和信号被用于生成显微图像和分析样品的性质。以下是电子束对样品产生影响的几个主要方面:

电子-样品相互作用:电子束在与样品表面或内部相互作用时,会导致电子与样品原子或分子发生碰撞。这些相互作用可能包括散射、透射、吸收和激发等。

电子的散射:电子束中的电子可能会散射回到探测器,从而形成所谓的二次电子图像,用于显示样品表面的形貌和纹理。

透射电子:有些电子可能穿透样品并离开另一侧,从而形成透射电子图像。透射电子图像可用于研究样品内部的微观结构。

吸收和激发:当电子束进入样品时,它可能会被样品的原子和分子吸收,并导致样品中的原子或分子发生激发。激发的电子或光子可以用于分析样品的元素组成和化学性质。

电荷积累:电子束照射样品时,可能会在样品表面积累电荷,导致样品表面产生静电效应。为了避免这种现象,通常需要对非导电样品进行金属涂层处理,以提高其导电性。

以上影响是SEM技术的基础,通过测量和分析电子与样品的相互作用,可以获得样品表面形貌、元素分布、晶体结构等信息。这些信息对于材料科学、纳米科技、生物学等领域的研究具有重要意义。

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作者:泽攸科技