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如何通过扫描电镜实现样品的局部和全局成像?

日期:2023-07-27

通过扫描电子显微镜(SEM),可以实现样品的局部和全局成像。这涉及到样品的扫描方式和成像设置的调整。以下是实现样品局部和全局成像的一些方法:

局部成像:

选取感兴趣区域: 在SEM成像前,首先选择感兴趣的区域,也就是局部区域,这可能是一个特定的微观结构或区域。在高放大倍数下,通过观察样品,可以确定需要进行局部成像的区域。

设置合适的扫描范围: 在局部成像时,需要调整扫描范围,使其仅覆盖感兴趣的局部区域。通常可以通过缩小扫描范围或在图像处理软件中裁剪图像来实现局部成像。

全局成像:

选择适当的放大倍数: 全局成像需要获得整个样品的总体形貌。因此,在选择放大倍数时,应选择一个较低的放大倍数,以便能够看到整个样品的范围。

多区域扫描和图像拼接: 如果样品比较大,无法一次性在一个图像中显示,可以通过分割成多个局部区域,并进行多次扫描,然后将这些局部图像拼接在一起,形成全局图像。这可以通过SEM系统自带的图像拼接功能或图像处理软件来实现。

全样品扫描: 有些SEM系统支持全样品扫描功能,可以在一个较低的放大倍数下,自动扫描整个样品的表面,并生成全局图像。

需要注意的是,在进行局部和全局成像时,样品的表面电荷效应可能会对成像结果产生影响。适当的样品处理和调整SEM参数可以帮助减轻电荷效应的影响,并获得更准确的成像结果。

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作者:泽攸科技