在扫描电子显微镜中，电子束照射对样本可能造成多种损伤，特别是在高能量电子束下。以下是一些可能的样本损伤：

表面电荷积累： 高能量电子束照射样本表面时，可能会导致电子从样本表面被排斥出去，造成表面电荷积累。这些表面电荷可能会影响样本表面形态，导致图像失真。

样本脱水和收缩： 电子束照射会引起样本内部水分的蒸发和去除，导致样本脱水和收缩。这可能会改变样本的形状和尺寸，导致失真。

电子束伤害： 高能量电子束照射可能会对样本结构造成直接伤害，特别是对于柔软和有机样本。电子束照射会使样本中的分子和原子发生断裂，导致样本结构的破坏。

电子辐照损伤： 高能量电子束照射样本时，电子辐射可能会对样本中的分子和原子产生一系列的物理和化学效应，导致样本的结构和性质发生改变。

热效应： 电子束照射样本时，会引起样本局部区域的升温。高温可能会导致样本的热膨胀和变形。

光化学反应： 高能量电子束可以激发样本中的化学反应，导致样本的化学性质发生变化。

气体解吸： 在SEM的真空环境下，电子束照射样本可能会引起样本内气体的解吸，导致气泡形成，影响图像质量。

因此，在使用SEM观察样本时，需要仔细选择合适的电子束参数和采用适当的样本处理方法，以减少电子束照射对样本的损伤。对于特别脆弱或敏感的样本，可能需要采用较低的电子束能量和较短的曝光时间来避免损伤。此外，可以通过冷冻等技术来保护某些生物样本，并在观察前进行导电处理，以减少样本损伤。

ZEM18台式扫描电镜

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