扫描电镜的工作模式包括哪些?
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扫描电子显微镜(SEM)具有多种工作模式,可根据不同的需求和应用选择适当的模式。以下是常见的几种SEM工作模式:
高真空模式:高真空模式是SEM的基本工作模式。在该模式下,样品和检测器被置于真空环境中,以减少电子束与气体的相互作用,提供清晰的图像和较高的分辨率。高真空模式适用于大多数样品观察和分析,尤其是固态样品。
低真空模式:低真空模式允许在较高的气压下进行观察,而无需将样品进行涂覆或处理。这种模式适用于非导电样品、生物样品、湿润样品和松散样品等不适合在高真空下观察的样品。低真空模式可提供更高的样品适应性,并减少电子束与气体相互作用产生的充电效应。
透射电子显微镜模式:某些SEM设备具备透射电子显微镜模式,允许使用透射电子探测器进行样品的透射电子显微观察。TEM模式可以提供更高的分辨率和更详细的样品内部信息,适用于纳米级别的结构和成分分析。
扫描透射电子显微镜模式:STEM模式将电子束扫描到样品上,同时收集透射电子的散射信号,用于样品表面的高分辨率成像和元素分析。STEM模式在高分辨率成像和原子级结构分析方面具有很高的能力。
分析模式:SEM还可以与各种分析技术结合使用,例如能量色散X射线光谱和电子背散射衍射。这些分析技术可用于获取样品的化学成分、结晶结构、晶格取向等信息。
每种工作模式具有不同的优势和适用范围,具体的选择应根据样品类型、所需分辨率、分析目的和设备功能来确定。在使用SEM之前,建议参考SEM制造商的指南和技术规格,以了解具体设备的工作模式和操作方法。
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作者:泽攸科技
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