扫描电镜的探测器类型和性能有哪些?
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扫描电子显微镜(SEM)使用不同类型的探测器来测量和探测样品表面产生的信号。每种探测器具有不同的性能特点,适用于不同的应用和需求。以下是一些常见的SEM探测器类型和性能特点:
后向散射电子探测器(BSE):
特点:测量和检测从样品表面散射的高能电子。BSE信号与样品的原子序数有关,可提供对样品组成和形貌的信息。
优点:较高的信号强度,对不导电样品有较好的灵敏度,可提供高对比度的图像。
限制:BSE信号与表面拓扑关系密切相关,可能受到拓扑效应的影响。
后向散射探测器(BSE2):
特点:类似于BSE,但BSE2探测器使用多个探测器接收不同能量范围的BSE信号,提供更丰富的信号信息。
优点:提供更广泛的信号能量范围,可用于增强对比度和分析样品成分。
二次电子探测器(SE):
特点:测量和检测从样品表面发射的次级电子。SE信号与样品的表面拓扑和导电性有关,可提供表面形貌和细节信息。
优点:高分辨率的表面拓扑信息,对导电和非导电样品均可使用。
限制:信号强度较低,不适用于化学成分分析。
透射电子探测器(STEM):
特点:透射电子探测器用于透射电子显微镜(TEM),可测量和检测从样品透射的电子。STEM信号可提供样品的原子尺度结构和成分信息。
优点:高分辨率的原子级成像和分析,能够获得元素的能量色散谱(EDS)。
以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜的探测器类型和性能。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。
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作者:泽攸科技