在扫描电镜（SEM）中，探针电子束与样品之间的工作距离是非常关键的，它会直接影响到成像的清晰度和信号强度。以下是一些常见的方法和控制参数，用于控制探针电子束和样品之间的工作距离：

调整样品台高度：SEM通常配备有可以控制样品台高度的装置。通过上升或下降样品台，可以调整探针电子束与样品之间的工作距离。调整样品台高度可以改变电子束的入射角度和聚焦效果。

工作距离调节器：一些SEM系统配备了工作距离调节器，它可以准确控制探针电子束和样品之间的距离。这种调节器通常由纳米级的位置调节装置组成，通过微小的移动来实现工作距离的调整。

对焦：SEM通常具有对焦功能，可以调整探针电子束的聚焦效果。通过对焦功能，可以改变探针电子束的聚焦平面，从而影响到与样品之间的工作距离。

检查样品和电子枪热点位置：在进行SEM操作之前，需要确保样品的平整性和正确的安装位置。同时，还需要检查电子枪热点的位置，以确保电子束发射的稳定性和准确性。

电子束和样品的对准：SEM通常具有对准功能，可以将探针电子束准确对准到样品的感兴趣区域。通过对准功能，可以使探针电子束与样品之间的工作距离保持稳定并准确。

ZEM15台式扫描电子显微镜

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