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扫描电镜的工作距离是什么?如何影响观察结果?

u7cc彩票日期:2023-07-05

扫描电镜的工作距离是指样品表面与电子枪之间的距离。工作距离的大小可以通过调节电子枪的位置来改变。

工作距离对于SEM观察结果有重要影响,主要体现在以下几个方面:

深度焦点:工作距离的改变会导致深度焦点的变化。较大的工作距离通常会提供更大的深度焦点范围,使得样品的不同深度区域都能够保持相对清晰的成像。相反,较小的工作距离将导致较小的深度焦点范围,要求样品表面与电子枪之间的高度均匀。

放大倍率:工作距离的改变还会影响到放大倍率。较大的工作距离通常与较大的放大倍率相关,可以实现高放大倍率的观察。较小的工作距离则会限制放大倍率的选择。

解析度:工作距离对SEM的解析度也有一定影响。较大的工作距离可以提供较高的解析度,使得更细微的细节可以被观察到。较小的工作距离可能会降低解析度。

信号检测效率:工作距离的改变还会对信号检测效率产生影响。较大的工作距离可以提高信号检测效率,使得样品表面反射或散射的电子信号更容易被探测到。

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作者:泽攸科技