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台式扫描电镜中的电子束是如何生成的

日期:2023-06-27

台式扫描电镜中的电子束是通过以下步骤生成的:

电子枪:台式扫描电镜中的电子束通常由一个电子枪产生。电子枪通常包括一个热阴极和一个阳极。热阴极是一个由热丝构成的发射器,当通过它通电时,热丝会加热并发射出电子。

电子发射:在电子枪中,热阴极加热后会释放出自由电子,这个过程称为电子发射。这些发射的电子被称为初级电子。

加速电场:初级电子从电子枪中发射出来后,进入一个加速电场。加速电场通过一个高压电源,在枪体和阳极之间产生一个电场,使初级电子获得较高的能量。

聚焦系统:在初级电子被加速后,它们进入聚焦系统。聚焦系统包括一组电磁透镜或电场透镜,用于将初级电子束聚焦成一个尖锐的束流,并控制其直径和形状。

准直系统:准直系统用于使电子束保持平行和平面,并校正电子束的偏转。

束流控制:束流控制系统用于调节电子束的亮度和电子流强度。它通常包括一个开关和/或调节器,用于控制电子束的开关、亮度和聚焦等参数。

通过以上步骤,台式扫描电镜中的电子束得以生成,并且经过聚焦、准直和束流控制等步骤的处理,使其具有足够的能量和聚焦性能,用于样品表面的扫描和成像。

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作者:泽攸科技