扫描电镜检测器是用于扫描电子显微镜的一种重要部件。扫描电子显微镜是一种高分辨率的显微镜，通过照射样本表面的电子束并检测由样本反射、散射和辐射而产生的信号来获取样本的表面形貌和组成信息。

扫描电镜检测器的作用是接收并转换扫描电子显微镜中样本表面产生的信号，以生成显微镜图像或其他相关数据。常见的扫描电镜检测器包括以下几种：

二次电子检测器：用于检测样本表面产生的二次电子。二次电子主要来自样本表面的凸起、坑洞和边缘等区域，能够提供样本表面的形貌信息。这种检测器通常用于生成高分辨率的显微镜图像。

回散射电子检测器：用于检测由样本表面反射的回散射电子。回散射电子的能量和方向受样本成分和密度的影响，因此可以提供关于样本的元素组成和晶体结构信息。

X射线能谱仪：用于检测由样本表面发射的特定能量的X射线。通过分析X射线的能谱，可以确定样本中存在的元素种类和相对含量，提供化学成分分析的信息。

扫描探针显微镜：这是一类不同于传统扫描电镜的显微镜技术，它使用扫描探针来测量样本表面的性质，如原子力显微镜和扫描隧道显微镜。这些检测器可以提供原子级别的表面形貌和电子性质信息。    

ZEM18台式扫描电镜

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