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扫描电镜中的电子束对样品会造成什么影响?

日期:2023-06-21

扫描电子显微镜(SEM)中的电子束对样品会产生多种影响,包括以下几个方面:

电子束散射:电子束与样品中的原子和分子相互作用时,会发生散射现象。这种散射会导致电子在样品中的方向改变,并散布到不同的角度和位置上。散射电子通过探测器收集后,可以用于获取样品的反射电子图像和散射电子图像。

能量转移:电子束与样品发生相互作用时,会将能量传递给样品。这种能量转移可能导致样品加热,尤其是在高电子束密度或长时间照射下。样品加热可能导致材料的结构变化、相变或热解等效应。

辐照损伤:高能电子束与样品相互作用时,可能会引起辐照损伤。这包括样品中的电子束诱导位移、空位形成和晶格缺陷等。辐照损伤可能导致样品性质的变化,例如晶格畸变、晶体缺陷的增加以及材料性能的退化。

电子激发:电子束的能量可以激发样品中的电子。这可能导致电子从基态跃迁到激发态,从而引起样品的荧光发射。利用样品荧光发射的特征,可以进行元素分析和成分表征。   

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作者:泽攸科技