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扫描电镜中的电子束和样品交互作用的影响

日期:2023-06-08

在扫描电镜中,电子束与样品之间的相互作用对图像的形成和质量有重要影响。以下是电子束和样品交互作用的几个主要影响:

散射:电子束与样品中的原子和分子发生散射,产生散射电子。这些散射电子携带了样品表面和内部的信息,可以用于形成图像。不同类型的散射包括弹性散射、非弹性散射和逆康普顿散射等。

吸收:样品材料对电子束具有吸收能力。当电子束穿过样品时,一部分电子会被吸收或散射,从而影响到电子束的强度和能量分布。吸收程度取决于样品的化学成分和厚度。

透射:对于较薄的样品或采用透射电子显微镜模式,电子束可以穿透样品,形成透射电子图像。透射电子图像提供了关于样品内部结构和组成的信息。

效应体:当电子束与样品相互作用时,可能会产生不同的效应体,如电子衍射、X射线发射和二次电子发射等。这些效应体提供了样品表面和结构特征的信息。

充电效应:电子束与非导电样品相互作用时,可能会产生充电效应。这导致样品表面的电子重新分布,可能引起图像的失真或产生电荷积累的现象。

这些电子束和样品之间的相互作用会影响到扫描电镜图像的对比度、分辨率和信噪比等。扫描电镜的操作参数(如加速电压、工作距离)、样品的性质(如成分、厚度)以及图像采集参数都会对电子束和样品交互作用产生影响。因此,在使用扫描电镜时,需要充分理解和控制电子束和样品之间的相互作用,以获得清晰、准确的图像。

ZEM15台式扫描电子显微镜

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作者:泽攸科技