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扫描电镜如何产生高分辨率的图像?

日期:2023-05-18

扫描电镜(SEM)通过以下方式产生高分辨率的图像:

高能电子束:扫描电镜使用高能电子束来照射样品表面。相比于可见光的波长,电子束的波长极短,使得扫描电镜能够获得更高的分辨率。通常使用加速电压为几千伏至数十千伏的电子束。

准确的电子束聚焦:扫描电镜使用电子透镜系统来聚焦电子束。通过控制聚焦透镜和物镜透镜,可以使电子束聚焦到非常小的尺寸,从而增加图像的细节和分辨率。

样品表面信号检测:当高能电子束照射样品表面时,与样品相互作用的电子和光子等信号将被产生。扫描电镜可以检测和测量这些信号,例如二次电子发射、散射电子、透射电子和X射线等。这些信号提供有关样品表面形貌、组成和结构的信息。

扫描电子束的扫描和检测:扫描电子束在样品表面进行扫描,通过逐点或逐线的方式扫描整个样品区域。同时,检测系统接收到信号并转换成电信号,以产生图像。通过扫描和检测过程,扫描电镜能够获取样品表面的细节和形貌信息。

数字图像处理和显示:通过数字图像处理和显示技术,扫描电镜获得的信号可以被转换成高分辨率的图像。这包括去噪处理、增强对比度、调整亮度和色彩平衡等。数字图像处理提供了更清晰、更准确的图像显示和分析。

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作者:泽攸科技