台式扫描电镜的分辨率可以定义为它所能够分辨的可接受的特征尺寸。一般情况下，扫描电镜的分辨率定义为可分辨尺寸的一半，通常用“线对距”（即可分辨线条的间距）或“点对距”（即可分辨点之间的距离）来表示。例如，若扫描电镜的分辨率为1纳米，则其可以分辨的特征尺寸为0.5纳米，即可分辨线条间距或点对距为0.5纳米。

ZEM15台式扫描电子显微镜

需要注意的是，扫描电镜的实际分辨率不仅与电子光束的性质和样品的物理结构相关，还受到多种因素的影响，例如电子透镜的调整、扫描电子束的能量、像素尺寸等。因此，在进行具体实验前需要对样品进行多次调试和测试，以保证获得高分辨率和成像效果。

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