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SEM扫描电镜的基本结构

日期:2023-04-28

SEM扫描电镜是一种高分辨率的显微镜,它利用高能电子束与样品表面相互作用,通过对样品表面的电子信号进行探测和分析,从而获得样品的形态、结构和成分等信息。扫描电镜的基本结构主要包括以下几个部分:

电子枪:电子枪是扫描电镜的核心部分,主要由热阴极、加速电极和聚焦磁场等组成。电子枪产生的电子束在加速电极的加速下,形成高能电子束,从而对样品进行扫描。

样品台:样品台是用于支撑样品的平台,通常由三维微调台和旋转台组成。样品需要放置在样品台上,并通过微调和旋转来准确定位和调整。

扫描线圈:扫描线圈是用于控制电子束扫描范围和扫描速度的磁场系统。扫描线圈可以通过电磁铁来调节磁场的强度和方向,从而控制电子束的扫描范围和扫描速度。

检测器:检测器是用于探测样品表面反射、散射和次级电子等信号的装置,通常包括次级电子探测器、反射电子探测器和透射电子探测器等。不同的检测器可以获取不同类型的信号,从而对样品进行不同方式的分析。

显示器和计算机:扫描电镜需要将采集到的信号进行数字化处理,并将结果显示在计算机上。计算机还可以对样品进行图像处理和分析,从而提取出更多的信息。

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以上是扫描电镜的基本结构,不同型号的扫描电镜可能会有一些差异。但总体而言,扫描电镜的结构都是由电子枪、样品台、扫描线圈、检测器和计算机等几个主要部分组成的。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜的基本结构。更多扫描电镜信息及价格请咨询15756003283(微信同号)

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作者:泽攸科技