能谱仪(EDS ，Energy Dispersive Spectrometer) 是用来对材料微区成分进行分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜以及扫描透射电子显微镜使用的一种仪器 。

能谱仪分析对样品的要求:

为了保证准确的定量结果 ，样品应满足如下条件 :

1、在真空和电子束轰击下稳定，样品组分不会蒸发或分解。

2、分析面平坦，与电子束垂直。

3、样品上被检 区域尺寸应大于X射线扩散范围，减少基体的 影响。

4、有良好的导电和导热性能，没有荷电现象，分析部位稳定。

5、样品为均质材料。

ZEM15台式扫描电镜能谱一体机

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