台式扫描电镜和透射电镜有什么区别?
日期:2022-06-15
台式扫描电镜和透射电镜有什么区别?台式扫描电镜和透射电镜有哪些相似点和不同点呢,今天泽攸科技u7cc彩票小编就带大家简单了解一下。
一、扫描电镜和透射电镜设备的不同点:
u7cc彩票台式扫描电镜使用—组特定的线圈以光栅样式扫描样品并收集散射的电子。
u7cc彩票透射电镜是使用透射电子,收集透过样品的电子。因此,透射电镜提供了样品的内部结构,如晶体结构,形态和应力状态信息,而扫描电镜则提供了样品表面及其组成的信息。
二、台式扫描电镜和透射电镜操作上的差异
这两种电子显微镜在系统操作方式上也有所不同。sem扫描电镜通常使用15kV以上的加速电压,而透射电镜可以将其设置在60-300kV的范围内。
u7cc彩票与扫描电镜相比,透射电镜提供的放大倍数也相当高:透射电镜可以将样品放大5000万倍以上,而对于sem扫描电镜来说,限制在1-2百万倍之间。
扫描电镜可以实现很大的视场,远大于透射电镜,用户可以只对样品的一小部分进行成像。同样,sem扫描电镜系统的景深也远高于透射电镜系统。
三、扫描电镜和透射电镜对样品的要求
u7cc彩票 1、扫描电镜对样品的要求
u7cc彩票 扫描电镜制样对样品的厚度没有特殊要求,可以采用切、磨、抛光等方法将特定剖面呈现出可以观察的表面就可以。这样的表面如果直接观察,看到的只有表面加工损伤,一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀,才能产生有利于观察的衬度。不过腐蚀会使样品失去原结构的部分真实情况,同时引入部分人为的干扰,对样品中厚度很小的薄层来说,造成的误差更大。
2、透射电镜对样品的要求
由于透射电镜得到的显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度,因此样品观测部位要非常的薄,例如存储器器件的透射电镜样品一般只能有10~100nm的厚度,这给透射电镜制样带来很大的难度。初学者在制样过程中用手工或者机械控制磨制的成品率不高,一旦过度削磨则使该样品报废。透射电镜制样的另一个问题是观测点的定位,一般的制样只能获得10mm量级的薄的观测范围,这需要在精确定位分析的时候,目标往往落在观测范围之外。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀(FIB)来进行精细加工。
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作者:泽攸科技