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你知道影响扫描电镜分辨率的因素有哪些吗?

日期:2022-06-13

你知道影响扫描电镜分辨率的因素有哪些吗?下面泽攸科技u7cc彩票小编为您介绍一下。扫描电镜有多项性能和技术指标,例如:分辨率、放大倍率误差、低倍畸变、束流稳定性、样品污染率、真空度、换样品抽真空时间、开机到工作抽真空时间、样品台位移距离等,这些均有量化指标。其中,扫描电镜的分辨率、放大倍数等参数又是选购参考的重要点。


sem扫描电镜分辨率重要性


u7cc彩票分辨率是扫描电镜很重要指标,它反映了仪器的综合性能。各种类型的扫描电镜分辨率不同,导致了仪器进入做微观领域的尺度有差异,这也是不同档次扫描电镜的卖点。用户很关心这个指标是否符合要求。对于厂家工程师来说,拍摄分辨率照片也是一项技术挑战,要把扫描电镜各个环节调整到很好的状态,选用几乎苛刻的操作条件,反复拍照,直到拿出满意照片为止。


u7cc彩票影响扫描电镜分辨率因素:电子源,灯丝是电子源的提供者,也是扫描电镜很重要的部件,灯丝所发射电子的密度、束斑尺寸、能量分布将决定性影响扫描电镜的分辨率。

扫描电镜拍摄图13.jpg

1、钨灯丝


钨灯丝具有结构简单、束流大、真空要求低、易更换等优点,但是由于其束流密度小、信噪比差、化学稳定性差、且使用寿命短(80-100h),因此,在使用过程中需要高频率的更换灯丝,以确保扫描电镜保持较为稳定的分辨率。



u7cc彩票 2、CeB6灯丝


u7cc彩票CeB6灯丝亮度为1000A/cm2,是钨灯丝亮度的10倍,因此具有更高的分辨率。CeB6灯丝具有更好的抗干扰能力,工作温度为1800K,远低于钨灯丝工作温度(2800K),灯丝挥发量相对较小,因此使用寿命基本都可达到1500h,如果再加以规范管理,使用寿命可进一步延长。

台式扫描电镜1.jpg

台式扫描电镜

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作者:泽攸科技