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扫描电镜中背散射电子的特点和作用

日期:2022-05-25

扫描电镜的电子束轰击试样表面时,电子束会进入试样内部,产生散射现象,电子束在散射后会改变前进方向,而且还会损失部分能量,随之而来产生各种其他信息,如热、俄歇电子、X射线、可见光、二次电子、背散射电子等。

台式扫描电镜1.jpg

当入射电子与试样相互作用后,其中有一部分电子会返回表面逸出,则这部分被返回表面逸出的原入射电子被称为背散射电子。在实际成像过程中,通常以能量大小对电子信息进行分类,能量大于50eV而小于入射束能量E0的电子称为背散射电子,大部分背散射电子的能量约为原入射能量E0的0.7~0.9倍。利用背散射电子来成像所获得的图像称为背散射电子像。背散射电子像在电镜成像中的使用率和图像的分辨力也都比较高,仅次于一次电子像。

背散射电子像具有下列基本性质和特点:

(1)其成像信息主要来自于返回试样表面的原一次电子,大部分电子的能量基本接近于原入射电子的能量。

(2)由于入射电子在试样中产生背散射电子的区域比二次电子的区域深、范围大,故背散射电子像的几何分辨力远不如二次电子像,对于中等或以上元素的分辨力与二次像相比约差2.5倍以上。

(3)由于背散射电子的能量较大,故其出射方向基本不受试样表面弱电场的影响,而且类似于点光源的形式以直线方式沿其径向轨迹散射开来。因此,只有出射方向正对着探测器的背散射电子才可以进入探测器中。当背散射探测器的有效面积所覆盖的立体角越大时,其接收效率越高,信噪比也越好,图像分辨力越能得到改善。

(4)背散射电子的空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关。

(5)高角度(>30°)的背散射像适宜于显示原子序数衬度;低角度(<30°)的背散射像适宜于显示试样表面的几何形貌衬度。

在扫描电镜中,非弹性散射的背散射电子的能量分布范围很宽,从几十eV到几十千eV。从数量上看,弹性背散射电子所占的份额远比非弹性背散射电子多。

背散射电子的激发深度随加速电压的升高而增大,对于中等原子序数的元素来说,背散射电子的产生深度主要来自于距试样表面约lum深度内的信息,轻元素和超轻元素试样的背散射电子的产生深度可达试样表面以下2~3um。在一定的加速电压下,由于背散射电子的产额基本上随试样原子序数的增高而增加。所以,利用背散射电子作为成像信号不仅能分析试样形貌特征(纯形貌像),而且还可用于显示试样化学组分的组成特征(原子序数衬度像),在一定的范围内能粗略进行定性分析试样表面的化学组分分布状况。

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作者:泽攸科技