扫描电镜可以检测到以下几种主要信号：

二次电子：用于成像，能够提供样品表面的形貌信息。

背散射电子：用于成像，能够提供样品的成分对比信息。

特征X射线：用于成分分析，通过能谱仪（EDS）检测可以确定样品中的元素组成。

俄歇电子：用于表面成分分析，适用于非常浅的表面层分析。

阴极发光：用于分析样品的光学性质，通常用于半导体和矿物分析。

ZEM20台式扫描电镜

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