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如何正确操作扫描电镜的聚焦和对准功能

日期:2023-05-24

正确操作扫描电镜的聚焦和对准功能是获得清晰图像的关键。下面是一些操作步骤和注意事项:

聚焦功能:

(1)确保电子束发射源(例如热阴极或场发射阴极)处于正常工作状态。

(2)启动扫描电镜并预热一段时间,以使设备达到稳定工作状态。

(3)调节聚焦控制器,使电子束的焦点尽可能小且集中。通常,聚焦控制器是一个旋钮或按钮,根据设备型号可能有不同的标识和操作方式。

(4)使用样品中的明显特征(如颗粒或边缘)作为参考,逐渐调节聚焦控制器,直到获得清晰的图像。

对准功能:

(1)确保扫描电镜的对准系统已经校准并处于工作状态。

(2)确定要对准的特定区域或特征,并将其置于视野中心。

(3)使用对准控制器进行微调,移动样品台或激光束(如果设备配备了激光对准系统),以使特征在视野中居中。

(4)根据需要进行水平和垂直方向上的对准调整,确保样品与电子束的准确对准。

注意事项:

(1)在进行聚焦和对准操作之前,确保样品已经适当安装并固定在样品台上,并且样品台水平调平。

(2)遵循设备制造商的操作手册和建议,因为不同的扫描电镜可能具有不同的控制器和对准方式。

(3)小心操作控制器,进行微调时逐步进行,避免过度调整造成过度聚焦或对准不准确。

(4)注意保持环境的稳定性,如避免振动或温度变化,以确保对准的稳定性和准确性。

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作者:泽攸科技