扫描电镜常见的成像模式有哪些?
日期:2023-05-10
扫描电镜常见的成像模式有:
次级电子成像:利用扫描电镜束中的次级电子成像,可以获取样品表面的形貌信息。
高真空成像:在高真空环境下进行成像,可以避免扫描电镜束与气体分子的相互作用,从而得到更清晰的图像。
低真空成像:在低真空环境下进行成像,可以保护一些对高真空敏感的样品,同时还可以获得一些表面的化学信息。
倒置电子成像:将样品放置在电子枪下方,利用从底部反射的电子进行成像,可以获得更高的表面分辨率。
热发射电子成像:利用样品表面的热发射电子进行成像,可以获得更高的表面分辨率。
离子束刻蚀成像:利用离子束对样品表面进行刻蚀,可以制作出高精度的纳米结构。
聚焦离子束成像:利用聚焦离子束对样品表面进行成像,可以获得高分辨率的表面形貌信息和化学信息。
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作者:泽攸科技
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