台式扫描电镜（SEM）光阑是位于电子枪出口处的一个圆形金属片，其作用是限制电子束的直径和控制束斑的形状，以便获得高分辨率的SEM图像。具体来说，光阑主要有以下两个作用：

控制电子束的直径：光阑的中心孔洞大小决定了电子束的直径。通过调节光阑的孔径大小，可以控制束斑的直径，从而控制电子束的聚焦程度。这对于SEM图像的分辨率非常重要，因为更小的束斑可以提供更高的分辨率和更清晰的图像。

控制电子束的形状：光阑可以调整束斑的形状，通常使用的是圆形或椭圆形。这是因为在光学镜头中，光线会被聚焦成圆形或椭圆形的光斑，而电子显微镜也使用类似的聚焦原理。光阑可以帮助SEM控制束斑的形状，从而获得更好的SEM图像。

ZEM15台式扫描电子显微镜

综上所述，光阑是台式扫描电镜系统中非常重要的组成部分，它能够控制电子束的直径和形状，从而获得高分辨率和清晰的图像。因此，保持光阑的清洁和良好状态对于SEM的正常运行和成像非常重要。

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