扫描电镜对支撑基底的要求
日期:2023-03-15
支撑基底是扫描电镜(SEM)样品的重要组成部分,对SEM成像效果具有重要影响。以下是SEM对支撑基底的要求:
导电性好:SEM使用的支撑基底须具有良好的导电性能,以避免在成像过程中电荷积聚导致的干扰信号。
机械稳定性高:支撑基底须具有足够的机械稳定性和刚性,以保证在样品加工、制备和成像过程中的稳定性。
表面平整度高:支撑基底的表面应该非常平整,以避免在成像过程中产生的高低起伏或其他形状不规则的干扰信号。
光学性能好:支撑基底的光学性能应该好,即在SEM成像过程中不会出现光学畸变或干扰信号。
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作者:泽攸科技
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