扫描电镜通过高能电子与样品间的相互作用而成像。扫描电镜中的电子枪会发射出高能电子束，并且这个电子束被聚焦成一个非常小的束斑，然后通过扫描样品表面来获取信号。

当高能电子束照射到样品表面时，会与样品表面原子产生相互作用。这些相互作用包括电子-电子相互作用、电子-原子核相互作用、电子-原子轨道相互作用等，都会导致电子在样品表面散射或反射，同时也会发生信号的发射，如次级电子、背散射电子、X射线等。

扫描电镜会将这些信号捕获，并通过扫描样品表面来获取二维或三维的信号分布信息。SEM中的探测器会接收来自样品表面的二次电子信号或背散射电子信号，然后将这些信号转换成电信号，再经过放大和数字化处理后，通过计算机进行图像重建。

扫描电镜成像的优点包括高分辨率、高放大倍数和大深度场，能够提供高清晰度、高对比度的表面形貌和微观结构图像，因此在材料科学、生物科学、纳米技术等领域得到了广泛应用。

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